半導体製造装置用部品
各種チャンバー部品
【対応装置】| ・スパッタリング装置 | ・CVD装置 | ・エッチング装置 | ・CMP装置 |
| ・イオン注入装置 |
【製品例】
| ・ＡＬ / ＳＵＳ部品 | ・石英部品 | ・セラミック部品 | ・耐熱樹脂部品 |
| ・熱電対 | ・電極 | ・サセプター | ・シャワーヘッド |
修理 / オーバーホール
【対応ユニット】| ・ウエハ搬送ロボット / モータ | ・マグネット | ・ヒーター | ・ESC |
| ・ベローズ | ・ＲＦ Generator | ・アプリケータ | |
半導体製造装置用 プロセス温度モニタリングツール
・T/Cウエハー (詳細 >>）正確なウエハ温度の把握は、品質向上・歩留まり改善のための重要な要素です。
実際にウエハにかかる温度分布特性を知ることでプロセス温度制御の簡略化、
膜厚分布均一性の向上に貢献します。
膜厚レートモニター用 アロイ水晶振動子
・アロイ水晶振動子半導体・光学薄膜蒸着装置用 膜厚レートモニター向け水晶振動子。
応力の高い蒸着膜にはアロイ水晶振動子が最適です。
レート乱れの問題を軽減、最大3倍のライフの伸びが期待できます。
・センサーヘッド ・イオンゲージ