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プロセス温度測定ツール（熱電対付ウェハ）

TCウェハ - ウェハ表面温度分布測定用 熱電対付ウェハ

プロセス温度管理の重要性
正確なウエハ温度の把握は、歩留まり改善のための重要な要素です。
実際にウエハにかかる温度分布特性を知ることでプロセス温度制御の
簡略化、膜厚分布均一性の向上に貢献します。

ウエハ温度をリアルタイム測定
ウエハに埋め込まれた高精度熱電対（T/C）は、ヒーターやチャンバー
から受ける温度変化・温度分布をリアルタイムにロガーに伝達し、
プロセス中の温度特性を正確にモニタすることができます。

検出温度データの高信頼性
ウエハ表面に溝加工を施し、そこに耐熱・高強度接着剤で熱電対を埋め込みます。接着材質量を最小限に留め、ウエハとの表面特性の違いを低減しています。また独自の埋込み加工技術により、測温接点のバラつきを低減し、読み込み温度の高い信頼性を実現しています。

熱電対の品質管理
使用する熱電対は全て埋め込み前に精度テスト・抵抗値測定を実施し、T/C間の固体差を最小限に抑えています。

■TCウェハ仕様　　見積依頼フォーム ダウンロード（ＰＤＦ） >>　

ウェハ	サイズ ：2〜12 インチ （角型ガラス基板等も対応可） 種類 ：ベアシリコン（標準）、その他膜付など特殊仕様はユーザー支給品にて対応＊
熱電対種類	Ｋ型（標準） 読込精度：±0.4%以下 　径0.127mm Ｒ型（オプション） 読込精度：±0.25%以下 　径0.127mm
測定点数	１〜３４点 埋め込み位置は任意でご指定頂けます。（但し、ウエハエッジからの最小距離：５mm 以上）
熱電対の被覆	〜200℃ テフロン 〜800℃ シリカヤーンスリーブ / アルミナ長繊維 〜1,000℃ マイクロクオーツチューブ （断続使用：〜1,100℃）
フィードスルー	ポリミド（厚み0.01mm） ※チャンバーにＴ/Ｃ導入ポートが無い場合のみ使用
コネクタ	各種対応可 Ｄタイプマルチコネクタ、２ピンミニコネクタ、Ｙ型ターミナル、セラミックコネクタ、熱電対素線のみ、など
アプリケーション	ＰＶＤ装置、ＣＶＤ装置、拡散炉、ホットプレート、フォトレジストなど
納期	通常４週間以内

他特殊仕様など、お気軽にご相談ください。

プロファイル熱電対

【使用装置】
　各種 熱処理炉 (拡散炉、アニール）

【仕様】
　熱電対種類： Ｋ型、R型、Ｓ型、Ｂ型
　熱電対径： 0.5mm、0.4mm
　保護管：石英、セラミック
　絶縁材：セラミック（アルシント99.7%）
　コネクタ：各種対応可