真空ポンプ部品、半導体製造装置用部品、TCウェハー、電子部品、自動化・制御機器 / ミヤビインターナショナル

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計測器


面積式流量計(フローメーター)


■特徴
 ・小型・計量・シンプル設計
 ・読み取り易いアクリル樹脂製      
 ・OEM対応可
 ・高精度(FS±4%)
 ・米国FDA認可取得済
■用途
・逆浸透膜(RO)装置
・純水化装置、淡水化装置
・エアサンプラー
・各種水処理設備
・ガス分析機器 など

■仕様例 (Model:FM-800)
材質 本体 アクリル樹脂 フローメーター
O-リング ニトリル
プラグ 真鋳+クロムメッキ      
継手 真鋳+クロムメッキ
ステム SUS316
フロート SUS316L
ガイド SUS304
ノブ ABS樹脂
使用温度 48℃Max
使用圧力 100psig(バルブ付)
精度 FS±4%
取付方式 垂直型
流量レンジ(Wafer) 1-10LPM (0.5-3.5GPM)
4-18LPM (1-5GPM)
流量レンジ(Air) 2-20LPM
5-40LPM
10-100LPM
15-150LPM
※仕様はモデルにより異なります。詳細はお問合せ下さい。


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